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SENTECH - 德国 SENTECH测量仪器及等离子体设备研发生产的高科技公司

发表时间:2019-05-07 浏览:545

胤旭机电 >> SENTECH - 德国 SENTECH测量仪器及等离子体设备研发生产的高科技公司 : 德国Sentech Instruments GmbH 公司的所有产品,该公司位于德国首都柏林,是一家从事薄膜测量仪器和等离子体设备研发、生产的高科技公司。


   SENTECH - 德国 SENTECH测量仪器及等离子体设备研发生产的高科技公司    

      SENTECH  LOGO德国Sentech Instruments GmbH 公司的所有产品,该公司位于德国首都柏林,是一家从事薄膜测量仪器和等离子体设备研发、生产的高科技公司。SENTECH公司生产的各种等离子体刻蚀、沉积设备具有高刻蚀率、低损伤、低温、高均匀度、沉积速度快等特点,广泛地用于半导体、微系统、有机薄膜等领域。SENTECH - 德国 SENTECH测量仪器及等离子体设备研发生产的高科技公司
 
       SENTECH公司致力于发展薄膜测量技术(光谱椭偏仪、激光椭偏仪、反射膜厚仪)和等离子加工技术(等离子刻蚀、沉积系统,定制解决方案),专业研发、制造、销售相关仪器和设备。SENTECH - 德国 SENTECH测量仪器及等离子体设备研发生产的高科技公司.SAILSORS过程仪表

激光椭偏仪
     SE 400adv , SE 500adv -激光椭偏仪,多角度入射,**的硬件和软件能够对薄膜厚度和光学常数进行比较精确的测量,可分析单层膜和多层膜。

SE 800是采用快速二极管阵列探测器的高性能光谱椭偏仪,在紫外/可见光范围内兼具快速数据采集速度和全光谱范围分辨率。

  光谱椭偏仪SE 800适用于复杂应用,比如测量玻璃上的透明薄膜,发光体和半导体聚合物薄膜,吸收/透明基底上的多层膜,窗材料的减反射膜,**的微电子应用比如SOI,高k值和低k值材料。各向异性样品和非均匀样品也能够被分析。SENTECH - 德国 SENTECH测量仪器及等离子体设备研发生产的高科技公司

光谱椭偏仪 SE 800 特征
  ·步进扫描分析器工作方式,对较低光强也同样有效
  ·消色差补偿器在整个0-360度范围内都可极准确和精确地测量出椭偏角度。能够分析偏振因数和补偿退偏效应
  ·起偏器跟踪技术可以为每一种应用都提供比较高的测量精度
  ·自动对准镜用于样品倾斜度调节,显微镜用于样品高度调节,能够提供比较高的样品对准精度
  ·高稳定性的操作,所有硬件操作由其内置的微控制器分别控制,基于Windows XP系统的比较新型电脑
  ·SpectraRay II – 功能强大的光谱椭偏仪软件

主要应用
  ·测量单层膜或多层膜的厚度和折射率
  ·在紫外-可见光波段测量材料的光学性质
  ·测量厚度梯度
  ·测量膜表面和界面间的粗糙程度
  ·确定材料成分
  ·分析薄金属膜
  ·分析各向异性材料和薄膜
  ·CER – 结合椭偏测量和反射测量
  ·CET – 结合椭偏测量和透射测量

选项
  ·紫外扩展选项 280 - 850 nm
  ·计算机控制角度计,40º-90º, 可选 20º-90º ,精度0.01º
  ·手动x-y载物台,150 mm行程
  ·电机驱动x-y载物台,行程50 mm - 200 mm
  ·MWAFER- SENTECH地貌图扫描软件
  ·透射测量样品夹具
  ·摄象头选项,用于样品对准和表面检测
  ·液体膜测量单元
  ·反射式膜厚仪FTPadvanced, 光斑直径80微米
  ·微细光斑选项,光斑直径200微米,可选: 100微米
  ·自动对焦选项,结合地貌图扫描选项
  ·SENTECH标准样片
  ·附加许可,使SpectrRay II软件可以用于多台电脑
 
代表型号:
SI500SI500PPDSE400advanced、SE500advanced、SE 900-50、SENDURO、SENresearch、Reflectometer RM、Etchlab200、SI100.

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